Основные направления работ: Исследования физики поверхности и тонких пленок, технологии тонких пленок и мультислойных структур Развитие современных методов исследования поверхности и границ раздела

Основные научные достижения:

• Методом электронной оже-спектроскопии (ЭОС) проведено изучение элементного состава и его распределения по глубине слоистых систем Fe/Dy, а также контрольных однослойных пленок Fe и D.
• Продолжены работы по отработке технологии получения и изучения физических свойств многослойных (порядка 10 слоев) магнитных пленок с полупроводниковыми прослойками (система Fe/Si).
• Продолжаются работы по применению метода спектроскопии характеристических потерь энергии электронов для анализа состояния поверхности подложки монокристаллического кремния в процессе ее термической очистки. Изучены возможности количественного элементного анализа методом спектроскопии характеристических потерь энергии электронов.
• Используя дополненную кинетическую модель, проведен численный эксперимент по компьютерному моделированию роста тонкой пленки для случая гомоэпитаксии на сингулярной поверхности. За основу была взята кинетическая модель, которая в свою очередь является обобщением дифференциальных уравнений для островкового роста.
• Выполнены исследования по теме: "Влияние вида обработки поверхности кремниевых подложек на структуру наносимых пленок ультрадисперсного алмаза".
• Изучена возможность количественного анализа элементного состава поверхности кремниевых пластин при их термической обработке методом спектроскопии характеристических потерь энергии электронов (СХПЭЭ).
• Выполнены исследования по теме: "Электрохимическая обработка полупроводников". Работа посвящена актуальной теме в области микроэлектроники, в частности, нанотехнологии и микромеханике. С помощью оптической микроскопии исследованы поверхности кремниевых подложек при различных режимах электрохимической обработки.

Заведующий лабораторией - А. С. Паршин, к.ф.-м.н., профессор (САА).