Двухканальная индукционная вакуумная печь-приставка для установки вакуумного напыления
Назначение и технические характеристики
Печь предназначена для получения композитных плёнок путем одновременного испарения веществ из двух тиглей с температурами испарения от 100 до 2000°.
Основные технические характеристики:
- Рабочая частота: 66 кГц
- Максимальная потребляемая мощность: 4 кВт
- Максимальная температура испаряемого вещества: 2000°C
Наиболее интересные результаты:
Получены композитные пленки фуллерен—WO3 и фуллерен— бор с полупроводниковым типом проводимости. Первый тип пленки чувствителен к воздействию температуры, видимого, ИК, УФ и рентгеновского излучения. Плёнки фуллерен бор самоорганизуются и образуют многослойную структуру.
|